Nova NanoLab SEM/FIB "双束"工作站

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公司名称：FEI香港有限公司北京代表处

所在地：北京

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产品简介

1.SEM分辨率：1.1nm@15kV， 2.5nm@1kV
2.FIB分辨率：7nm (可达到5nm)
3.加速电压：SEM 200V-30kV, FIB 5-30kV
4.探测器：E-T二次电子探测器，TLD二次电子/背散射电子探测器，CDEM离子探测器，样品室红外CCD；可选STEM、固体背散射探测器等
5.气体注入系统（GIS）：Pt沉积气体、W沉积气体、C沉积气体，金属增强蚀刻气

产品详细信息

Nova 200/600 NanoLab是FEI于2003年8月正式发布的SEM/FIB双束工作站。
FEI公司在几十年FIB和SEM经验的基础上，结合FEI*新的技术，为材料科学、特别是纳米技术设计了Nova NanoLab。用户可在一套系统上完成：
－纳米加工
－纳米原型设计
－ 2D/3D纳米表征
－纳米分析
使这台设备成为联系SEM（进行纳米表征和微米分析）和TEM（纳米和原子级别分析和表征）的桥梁。