气体流量校准系统 molbloc/molbox

              Mass Flow Calibration System

**一代的

   molbloc/molbox，以其极高的精度和直接向国家基准溯源的能力，满足了社会对高水平质量流量校准系统的需要。该校准系统检定速度快 ，使用方便且小巧紧凑。

   molbloc/molbox可提供0.2%的读数精度或0.02%FS的满量程精度,如果系统地采用molbox1的调零功能,其精度甚至可以达到0.01%FS。molbloc/molblox校准系统具有实时数据处理功能，整个系统安装于一个可移动的桌面系统上。

molbloc/molbox 质量流量校准系统以其优越的计量性能，诸多的功能，先进的PC校准支持软件和气体处理附件，使它成为检定及`校准质量流量控制器及质量流量计的理想检定系统，同时molbloc/molbox也是高精度测量的**仪器。

   自1993年问世以来，molbloc/molbox作为一个先进的，很快在各个领域得到广泛的应用。如：半导体工业，光纤光学，制药，环境监测，能源，仪器制造业，研究单位及计量的潜力，一个基于重量测量的质量流量机构等等。

 新理论与新技术，新工艺**结合造就出高性能的仪器

    molbloc的设计是建立在层流理论和气体热力学特性基础上的。通过采用先进的测量手段，合理的数学模型，以及数据处理与加工工艺，DH公司设计完成了高稳定，高精度的层流元件，并得到美国及国际**保护。正是由于这一切，使我们能够更好地定义流量元件的几何形状，更**地了解气体温度及压力，*大限度地减少流量对上下游流态的依赖。使molbloc达到****的高精度与高稳定性。

   molbloc采用了与可比美的压力传感器和自校准铂电阻温度计电路。大容量存储器存储着所有支持的气体的热力学数据。微处理器高速读取压力与温度并计算出质量流量。

 **的质量流量传递标准

   质量流量是基本单位—质量和时间的导出单位。

       传统的质量流量标准都是一个计算系统，由体积流量经计算，间接得倒质量流量。象  molbloc 一样它们依赖于气体压力温度的测量以及气体的热力学特性。   

    测量重量的质量流量校准技术是***种直接从质量和时间导出质量流量的技术。由于这种系统使用非常复杂，并且很费时间，而且没有高精度，高稳定的传递标准向下传递其量值，因此到目前为止,这种方法还没有得到广泛的应用。

    molbloc/molbox的问世改变了这一切，该系统具有极高的精密度和稳定性。它不仅解决了长期以来基准没有合适的传递标准向下量传的问题，同时也使日常大量的高精度质量流量仪表的检定成为可能。为了充分发挥molbloc的潜力，一个基于重量测量的质量流量校准体系已经建立，这使molbloc/molbox质量流量校准体系成为新的流量标准。

          molbloc/molbox体系的构成

   一个molbloc/molbox质量流量校准系统包括：一台molblox，一个或多个molbloc元件以及附(根据需要确定）。molbox1是整个质量流量校准系��的核心。molbloc 通过压力管路和电缆线与  molbox1相连接。

  molbox1™

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   标志号：molbox1

    用途/简介：molbox1是质量流量元件molbloc的支持单元。molbox1内装两个高精度

绝压传感器，用以测量molbloc下游压力。压力传感器可自动切换到不同的molbloc上，以便molbox1  支持多个molbloc。molbox1还可自动调零并对系统进行检漏。内置 4 套铂电阻温度计测量电路，用以测量两套molbloc气体温度。molbox1内有两个标准电阻，可对铂电阻温度计电路进行自动校准。molbox1支持RS-232和IEEE-488通讯，并可设置和读取多种质量流量控制器。

  . 定货说明：一台molbox1；四条管路；两条15芯通讯 线；一套用户手册和校准证书。

  molblocs™

   标志号：200sccm-VCR-V-Q

           1      2  3 4

   1：标称量程2：流量接头（分VCR，VCO，SWG ）

3：Viton™ O形圈    4：压力接头（分快速接头-Q和  Swagelok-S两种）

   用途/简介：molbloc是流量元件，用于测量流过它的气体质量流量。它通过两条测压管路和一条数据通讯电缆与molbox1相连。用户可根据自己的流量测量需要，选择一个或多个molbloc。一个molbox可支持两个molbloc，使它们同时工作或分别工作。

定货说明：一个molbloc质量流量元件及安装用的O形圈，校准证书。

molstics™

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标志号：molsticXXXXX（XXXXX代表：型号/应用）

   用途/简介：molbloc的安装与固定质量，对高精度质量流量测量会有较大影响，为了方便molbloc  的 安装，专门设计了molstics，用于为molbloc提供高质量的安装效果。molstic除了用于安装molbloc外，其上还包括了流量测量与校准所需要的所有接头与阀门。

定货指南：

molstic， 单通，中/高       P/N：401244    量程>200sccm(适应大/小molbloc)

molstic,   单通,低           P/N:  401316    量程<200sccm(只适应小molbloc)

molstic,   双通,中/高        P/N:  401317    量程>200sccm(适应大/小molbloc)

                                           需要另购P/N401324连接

molstic,   双通,低            P/N: 401318    量程<200sccm(只适应小molbloc)

T型,molstic,大/小            P/N: 401324     需要另购P/N401317

molstic,  低流量阀套件        P/N: 401319    低molstic手动计量阀

molstic   中/高流量阀套件     P/N: 401320    中/高molstic手动流量计量阀

适配器,   4VCR*8VCRF          P/N: 102589    1/4”VCR M * 1/2”VCR F

*molbloc>=10slm称大molbloc  molbloc<=5slm称小molbloc

*molstic只连接到1/4”VCR molbloc

Compass molbox校准支持软件

标志号：compass，molbox，win

    用途/简介：COMPASS MOLBOX校准支持软件是基于PC机的应用软件。molbloc/molbox质量流量校准系统通过RS-232或IEEE──488接口与计算机连接起来，并采用此软件，既可形成全自动质量流量校准系统，对质量流量计和质量流量控制器进行全自动检定和校准。COMPASS MOLBOX校准支持软件按照WINDOWS协议组织测试结果文件，设置菜单，格式化测试数据，进行数据编辑和绘制图线。COMPASS MOLBOX应用软件能够全自动完成流量控制器和流量计的检定与校准，并把数据以文件形式存储，还可打印校准曲线及检定证书。

molbloc™ /molbox™ 质量流量校准系统

流量测量技术指标

  量程：0---2000slm（标准状态 升/分钟）

  校准气体：Air，Ar，Co，He，N2O2

Co2，CF4，C2H6，C2H4，CHF3，     C2F6，

  H2，CH4， N2O，C3H8，SF6

  精度：0.2%RDG  / 0.02%FS

  重复性:0.05%RDG /0.005%FS

  线性:<0.1%RDG/<0.01%FS

  年稳定性:<=0.1%RDG /<=0.01%FS

molbox1

  电源:86—264VAC,47--440HZ,<=40VA

  外形:32*12*30(W*H*L)

  重量:6.8KG

温度:工作温度:0—40  存储温度:-25—85

  通讯:com1(RS232):主通讯口, 9针DSUB(阴),

       com2(RS232):远程设备通讯9针DSUB(阳)

  RS485:数字质量流量控制器通讯口,

  IEEE-488:主通讯口(选件)

mobloc连接插座:

   双路(通道A/B)15针DSUB9阴)金属屏蔽接头.

微处理器:     MOTOROLA MC68302, 16MHZ

压力传感器:   两个振荡时英晶体压力传感器

测量温度:

    量程:0—40

    精度:+/-0.05

    分辨率:0.01

    molbox1内含一个别00欧和一个别10欧的标准

    电阻,可自动校准其电阻测量系统.

    稳定性:25ppm/年

MFC控制选择

连接接头:

模拟MFC:25针DSUB(阴)金属屏蔽插座

     阀门驱动器:12针阴插座

     MFC转换盒:5针阴插座

     远程多用表接口:3针阴插座

     为MFC提供电压:+/-15VDC:+/-2%

模拟输出:

     MFC电压设定:

     量程:0—6VDC,100mA

     精度:+/-0.1%FS

     分辨率:0.1mVDC

     短路保护:有

     输出阻抗:100欧

MFC电流设定:

     量程:4—20mA

     精度:+/-0.1%FS

     分辨率:0.4uA

     *大负载:500欧

     短路保护:有

模拟输入:

MFC电压信号输出:

         量程:0—6VDC

         *小范围:-0.25VDC

         *大范围:6.000VDC

         精度:+/-0.05%FS

         分辨率:1mVDC

         *小输入阻抗:1G欧

         自动校准:5VDC参考电压

MFC电流信号输出:

         量程:4—20mA

         精度:+/-0.05%FS

         分辨率:4uA

         输入阻抗:250欧

         自动校准:5VDC参考电压

阀门测试点:

          量程:2—15V

          精度:+/-0.25%FS

          分辨率:2.5mVDC

          输入阻抗:100K欧

          自动校准:10VDC参考电压