气体流量校准系统 molbloc/molbox
产品简介
**一代的质量流量校准系统 新理论与新技术,新工艺**结合造就出高性能的仪器 **的质量流量传递标准
产品详细信息
Mass Flow Calibration System
**一代的
molbloc/molbox,以其极高的精度和直接向国家基准溯源的能力,满足了社会对高水平质量流量校准系统的需要。该校准系统检定速度快 ,使用方便且小巧紧凑。
molbloc/molbox可提供0.2%的读数精度或0.02%FS的满量程精度,如果系统地采用molbox1的调零功能,其精度甚至可以达到0.01%FS。molbloc/molblox校准系统具有实时数据处理功能,整个系统安装于一个可移动的桌面系统上。
molbloc/molbox 质量流量校准系统以其优越的计量性能,诸多的功能,先进的PC校准支持软件和气体处理附件,使它成为检定及`校准质量流量控制器及质量流量计的理想检定系统,同时molbloc/molbox也是高精度测量的**仪器。
自1993年问世以来,molbloc/molbox作为一个先进的,很快在各个领域得到广泛的应用。如:半导体工业,光纤光学,制药,环境监测,能源,仪器制造业,研究单位及计量的潜力,一个基于重量测量的质量流量机构等等。
新理论与新技术,新工艺**结合造就出高性能的仪器
molbloc的设计是建立在层流理论和气体热力学特性基础上的。通过采用先进的测量手段,合理的数学模型,以及数据处理与加工工艺,DH公司设计完成了高稳定,高精度的层流元件,并得到美国及国际**保护。正是由于这一切,使我们能够更好地定义流量元件的几何形状,更**地了解气体温度及压力,*大限度地减少流量对上下游流态的依赖。使molbloc达到****的高精度与高稳定性。
molbloc采用了与可比美的压力传感器和自校准铂电阻温度计电路。大容量存储器存储着所有支持的气体的热力学数据。微处理器高速读取压力与温度并计算出质量流量。
**的质量流量传递标准
质量流量是基本单位—质量和时间的导出单位。
传统的质量流量标准都是一个计算系统,由体积流量经计算,间接得倒质量流量。象 molbloc 一样它们依赖于气体压力温度的测量以及气体的热力学特性。
测量重量的质量流量校准技术是***种直接从质量和时间导出质量流量的技术。由于这种系统使用非常复杂,并且很费时间,而且没有高精度,高稳定的传递标准向下传递其量值,因此到目前为止,这种方法还没有得到广泛的应用。
molbloc/molbox的问世改变了这一切,该系统具有极高的精密度和稳定性。它不仅解决了长期以来基准没有合适的传递标准向下量传的问题,同时也使日常大量的高精度质量流量仪表的检定成为可能。为了充分发挥molbloc的潜力,一个基于重量测量的质量流量校准体系已经建立,这使molbloc/molbox质量流量校准体系成为新的流量标准。
molbloc/molbox体系的构成
一个molbloc/molbox质量流量校准系统包括:一台molblox,一个或多个molbloc元件以及附(根据需要确定)。molbox1是整个质量流量校准系��的核心。molbloc 通过压力管路和电缆线与 molbox1相连接。
molbox1™
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标志号:molbox1
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用途/简介:molbox1是质量流量元件molbloc的支持单元。molbox1内装两个高精度
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绝压传感器,用以测量molbloc下游压力。压力传感器可自动切换到不同的molbloc上,以便molbox1 支持多个molbloc。molbox1还可自动调零并对系统进行检漏。内置 4 套铂电阻温度计测量电路,用以测量两套molbloc气体温度。molbox1内有两个标准电阻,可对铂电阻温度计电路进行自动校准。molbox1支持RS-232和IEEE-488通讯,并可设置和读取多种质量流量控制器。
. 定货说明:一台molbox1;四条管路;两条15芯通讯 线;一套用户手册和校准证书。
molblocs™
标志号:200sccm-VCR-V-Q
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1 2 3 4
1:标称量程2:流量接头(分VCR,VCO,SWG )
3:Viton™ O形圈 4:压力接头(分快速接头-Q和 Swagelok-S两种)
用途/简介:molbloc是流量元件,用于测量流过它的气体质量流量。它通过两条测压管路和一条数据通讯电缆与molbox1相连。用户可根据自己的流量测量需要,选择一个或多个molbloc。一个molbox可支持两个molbloc,使它们同时工作或分别工作。
定货说明:一个molbloc质量流量元件及安装用的O形圈,校准证书。
molstics™
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标志号:molsticXXXXX(XXXXX代表:型号/应用)
用途/简介:molbloc的安装与固定质量,对高精度质量流量测量会有较大影响,为了方便molbloc 的 安装,专门设计了molstics,用于为molbloc提供高质量的安装效果。molstic除了用于安装molbloc外,其上还包括了流量测量与校准所需要的所有接头与阀门。
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定货指南:
molstic, 单通,中/高 P/N:401244 量程>200sccm(适应大/小molbloc)
molstic, 单通,低 P/N: 401316 量程<200sccm(只适应小molbloc)
molstic, 双通,中/高 P/N: 401317 量程>200sccm(适应大/小molbloc)
需要另购P/N401324连接
molstic, 双通,低 P/N: 401318 量程<200sccm(只适应小molbloc)
T型,molstic,大/小 P/N: 401324 需要另购P/N401317
molstic, 低流量阀套件 P/N: 401319 低molstic手动计量阀
molstic 中/高流量阀套件 P/N: 401320 中/高molstic手动流量计量阀
适配器, 4VCR*8VCRF P/N: 102589 1/4”VCR M * 1/2”VCR F
*molbloc>=10slm称大molbloc molbloc<=5slm称小molbloc
*molstic只连接到1/4”VCR molbloc
Compass molbox校准支持软件
标志号:compass,molbox,win
用途/简介:COMPASS MOLBOX校准支持软件是基于PC机的应用软件。molbloc/molbox质量流量校准系统通过RS-232或IEEE──488接口与计算机连接起来,并采用此软件,既可形成全自动质量流量校准系统,对质量流量计和质量流量控制器进行全自动检定和校准。COMPASS MOLBOX校准支持软件按照WINDOWS协议组织测试结果文件,设置菜单,格式化测试数据,进行数据编辑和绘制图线。COMPASS MOLBOX应用软件能够全自动完成流量控制器和流量计的检定与校准,并把数据以文件形式存储,还可打印校准曲线及检定证书。
molbloc™ /molbox™ 质量流量校准系统
流量测量技术指标
量程:0---2000slm(标准状态 升/分钟)
校准气体:Air,Ar,Co,He,N2O2
Co2,CF4,C2H6,C2H4,CHF3, C2F6,
H2,CH4, N2O,C3H8,SF6
精度:0.2%RDG / 0.02%FS
重复性:0.05%RDG /0.005%FS
线性:<0.1%RDG/<0.01%FS
年稳定性:<=0.1%RDG /<=0.01%FS
molbox1
电源:86—264VAC,47--440HZ,<=40VA
外形:32*12*30(W*H*L)
重量:6.8KG
温度:工作温度:0—40 存储温度:-25—85
通讯:com1(RS232):主通讯口, 9针DSUB(阴),
com2(RS232):远程设备通讯9针DSUB(阳)
RS485:数字质量流量控制器通讯口,
IEEE-488:主通讯口(选件)
mobloc连接插座:
双路(通道A/B)15针DSUB9阴)金属屏蔽接头.
微处理器: MOTOROLA MC68302, 16MHZ
压力传感器: 两个振荡时英晶体压力传感器
测量温度:
量程:0—40
精度:+/-0.05
分辨率:0.01
molbox1内含一个别00欧和一个别10欧的标准
电阻,可自动校准其电阻测量系统.
稳定性:25ppm/年
MFC控制选择
连接接头:
模拟MFC:25针DSUB(阴)金属屏蔽插座
阀门驱动器:12针阴插座
MFC转换盒:5针阴插座
远程多用表接口:3针阴插座
为MFC提供电压:+/-15VDC:+/-2%
模拟输出:
MFC电压设定:
量程:0—6VDC,100mA
精度:+/-0.1%FS
分辨率:0.1mVDC
短路保护:有
输出阻抗:100欧
MFC电流设定:
量程:4—20mA
精度:+/-0.1%FS
分辨率:0.4uA
*大负载:500欧
短路保护:有
模拟输入:
MFC电压信号输出:
量程:0—6VDC
*小范围:-0.25VDC
*大范围:6.000VDC
精度:+/-0.05%FS
分辨率:1mVDC
*小输入阻抗:1G欧
自动校准:5VDC参考电压
MFC电流信号输出:
量程:4—20mA
精度:+/-0.05%FS
分辨率:4uA
输入阻抗:250欧
自动校准:5VDC参考电压
阀门测试点:
量程:2—15V
精度:+/-0.25%FS
分辨率:2.5mVDC
输入阻抗:100K欧
自动校准:10VDC参考电压