流量传感器ASF 1400 ASF 1400
产品简介
总质量流量计分数据*高达200HZ动态范围:0.01scm-400scm精度高、分辨率高经过标定和温度补偿RS-232和SPI数字接口
产品详细信息
ASF 1400
特点
总质量流量计分
数据*高达200HZ
动态范围:0.01scm-400scm
精度高、分辨率高
经过标定和温度补偿
RS-232和SPI数字接口
技术参数
精度:0-5%FS(23°C)
动态范围:-400 –400 Sccm(直接测量条件下)
-100 –400
Sccm Liter/min(含有旁路管的条件下测量值)
无限制(在传统旁路管的条件下)
分辨率:0.1 Sccm(当流速是400sccm
/640ms时)
0.0143(1/70)Sccm(当流速是10sccm /640ms时)
*小感知流量:标准值为0.0143(1/70)Sccm;*大值为0.003 Sccm
压力损耗:120Pa
重复性:0.0025%FS,0.025%m.v