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OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110 AL110/MX61

OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110 AL110/MX61
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产品价格： < 面议
产品型号：AL110/MX61
品 牌：其它品牌
公司名称：大迈仪器（上海）有限公司
所 在 地：上海闸北
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产品简介

OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性 OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110

产品详细信息

OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110
OLYMPUS AL110规格：
型号200mm型200/150mm
兼容型		100/125/150mm
兼容型
项目LLMLBMBLMBLLMLBMBLMBLLMLMB
晶圆直径200晶圆边
200mm切口		√√ 
150mm晶圆平边 √ 
100/125/150mm
晶圆平边		  √
观察方式连续和采样√
转换方式正面宏观检测√√√ √√√√ √√√√
背面宏观检测 √ √√ √ √√ √√
2次背面检测  √√√  √√√  √
表面显微观测  √√√  √√√  √
适用显微镜MX61/MX61L型√
规格(mm)580(W)*580(D)*297(H)490(W)*520(D)*297(H)
重量(kg)30323131333032313133262830
能耗电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa

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大迈仪器（上海）有限公司
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