红外线灯管加热装置　 RTA-98/98#型

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产品型号：RTA-98/98#型

品牌：阿里巴克理工

公司名称：弘埔技术(香港) 有限公司

所在地：香港香港

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产品简介

红外线灯管加热装置　是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。

红外线灯管加热装置　 RTA-98/98#型

适用于半体基板的急速高温加退火

红外线灯管加热装置　是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。

●装置的构成

●技术指标

温度范围	50～700℃ Max 1000℃
试样尺寸	约50mm×50mm硅片4张/连续处理 (2行2列放置)
气氛	流动氮气，不活性流动气体
加热方式	上下面具有抛物面红外线加热
热处理区	约200mmW×200mmD
加热速度	RT～700℃/min
炙热区	113mmW×102mmD
炙热精度	±5℃ (at300℃～700℃)
压力控热电偶制范围	1Pa～50Pa (选择部件：压力控制系统)
热电偶	JIS K
susceptor	碳素susceptorSi导线(约133mmW×120mmD×4mmt)