红外线灯管加热装置 RTA-98/98#型
产品简介
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上,红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡,让加热室得到温度分布的均一性。
产品详细信息
红外线灯管加热装置 RTA-98/98#型
适用于半体基板的急速高温加退火
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上,红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡,让加热室得到温度分布的均一性。
●装置的构成
1 |
本体系统架台 |
1台 |
2 |
红外线加热炉 (Pss98/98#) |
1台 |
3 |
加热,冷却室 |
1台 |
4 |
程序温度控制器 |
1台 |
5 |
真空排气系统 |
1台 |
6 |
气体触摸屏/PLC回路 |
1台 |
7 |
压力控制系统 |
1台 |
8 |
本体架台/配电盘 |
1台 |
●技术指标
温度范围 |
50~700℃ Max 1000℃ |
试样尺寸 |
约50mm×50mm硅片4张/连续处理 (2行2列放置) |
气氛 |
流动氮气,不活性流动气体 |
加热方式 |
上下面具有抛物面红外线加热 |
热处理区 |
约200mmW×200mmD |
加热速度 |
RT~700℃/min |
炙热区 |
113mmW×102mmD |
炙热精度 |
±5℃ (at300℃~700℃) |
压力控热电偶制范围 |
1Pa~50Pa (选择部件:压力控制系统) |
热电偶 |
JIS K |
susceptor |
碳素susceptorSi导线(约133mmW×120mmD×4mmt) |