超级轮廓测量仪 CV-3000CNC/CV-4000CNC

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产品型号:CV-3000CNC/CV-4000CNC
 牌:日本三丰精密仪器
公司名称:昆山全丰精密仪器有限公司
  地:江苏昆山
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产品简介

特点
•高精度CNC轮廓/形状测量装置。
•X1, (Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s,确保实现高速定位,从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。
•带有a轴的型号,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
•CV- 4000CNC系列的驱动装置集成了LaserHologage检测器,可以在Z轴(垂直方向)的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。
•带有Y轴的工作台

产品详细信息

技术参数

X1

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

测量方法:反射型光栅尺

驱动速度:*大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)

测量速度: 0.02 - 2mm/s

测量方向:向前/向后

直线度: 2μm/200mm

*X轴在水平方向上

指示精度:±(1+4L/200)μm, (20°C) * L为驱动长度(mm)

a

倾斜角度: -45°+10°

分辨率: 0.000225°

旋转速度: 1rpm

Z2(立柱)

垂直行程: 300mm500mm

分辨率: 0.05μm

测量方法:反射型光栅尺

驱动速度:*大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)

Z1(检测器)

测量范围:±25mm

分辨率: 0.2μm ,

测量方法:光栅尺,

指示精度:±(2+I4HI/100)μm

(20°C) *H为水平位置上的测量高度(mm)

探针上/下运作:弧形运动

探针方向:向上/向下

测力: 30mN

跟踪角度:向上:70°、向下:70°(根据表面粗糙度,使用标准单切面探针)

探针针尖半径:25μm、硬质合金针尖

基座尺寸(W x H): 750 x 600mm

基座材料:花岗岩

重量: 240kg, 250kg (高立柱类型)

电源: 100240VAC±10%, 50/60Hz

能耗: 400W (**主机)

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