超级轮廓测量仪 CV-3000CNC/CV-4000CNC
产品简介
特点 •高精度CNC轮廓/形状测量装置。 •X1, (Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s,确保实现高速定位,从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。 •带有a轴的型号,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。 •CV- 4000CNC系列的驱动装置集成了LaserHologage检测器,可以在Z轴(垂直方向)的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。 •带有Y轴的工作台
产品详细信息
技术参数
X1轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
测量方法:反射型光栅尺
驱动速度:*大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
测量方向:向前/向后
直线度: 2μm/200mm
*当X轴在水平方向上
指示精度:±(1+4L/200)μm, (20°C时) * L为驱动长度(mm)
a轴
倾斜角度: -45°至+10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度: 1rpm
Z2轴(立柱)
垂直行程: 300mm或500mm
分辨率: 0.05μm
测量方法:反射型光栅尺
驱动速度:*大200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操纵杆)
Z1轴(检测器)
测量范围:±25mm
分辨率: 0.2μm ,
测量方法:光栅尺,
指示精度:±(2+I4HI/100)μm
(20°C时) *H为水平位置上的测量高度(mm)
探针上/下运作:弧形运动
探针方向:向上/向下
测力: 30mN
跟踪角度:向上:70°、向下:70°(根据表面粗糙度,使用标准单切面探针)
探针针尖半径:25μm、硬质合金针尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm
基座材料:花岗岩
重量: 240kg, 250kg (高立柱类型)
电源: 100–240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (**主机)