产品简介
Surftest SV-3000高精度的构造设计●采用陶瓷制作X轴驱动装置的导轨,因为陶瓷具有极好的防磨损性能。无需润滑油也能正常工作。●为了保证测量的高**度,在X轴和Y轴上都内建了清晰度很高的玻璃刻度(X轴清晰度:0.05μm,Y轴清晰度:1μm)。●装配有高**度的测头。●装配有多种功能,例如:“线性补偿功能”,可以确保X轴的直线**度;“圆度补偿功能”,可以保证测头的垂直移动;还有“测头直
产品详细信息
- 測定範圍: X軸: 100mm
- Z軸:800µm.80µm.8µm
- 真直度:0.5µm/100mm
解析度: X軸: 0.1µm, 0.01µm/800µm
Z 軸: 0.001µm/80µm,0.0001µm/8µm - 測定力:0.75mN
- 測針:觸針(鑽石): 圓錐90
**曲率半徑: 5µm
skid(超硬) 曲率半徑: 40mm - 測定速度:驅動速度: 0.02~2 mm/s(7階段)
後退速度:5mm/s
定位速度: 0.1~2 mm/s(搖桿操作時)手動 - 驅動部移動範圍: Z軸300mm
- 數值輸出:RS-232C
- 使用溫度範圍: 15~25℃
- 電源: AC100~240V
- SURFPAK軟體