半导体特气检漏仪 XP-703D
产品简介
半导体特气检漏仪XP-703D产品简介: 用于半导体材料气体的超微量泄漏检测通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏
产品详细信息
半导体特气检漏仪XP-703D产品简介:
用于半导体材料气体的超微量泄漏检测通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
用于半导体材料气体的超微量泄漏检测通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | **型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | **型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |