阴极工艺处理设备阴极工艺处理设备

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产品型号：阴极工艺处理设备

品牌：

公司名称：北京利方达真空技术有限责任公司

所在地：北京

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产品简介

包括阴极除气设备、阴极分析设备和阴极储存设备等高效真空系统 全程控工艺过程  阴极预处理台
 
  用于阴极预处理

 极限真空度3 * 10-5Pa

 全程控工艺过程

 多工位可多达14个
 
 高频除气台 
  用于阴极除气

 石英钟罩式除气工位口，利于观察测温，方便装卸工件

 极限真空度3*10-4Pa 

 全程控工艺过程

 2~3个工位

产品详细信息

阴极预处理台
	用于阴极预处理极限真空度3 * 10^-5Pa 全程控工艺过程多工位可多达14个
高频除气台
	用于阴极除气石英钟罩式除气工位口，利于观察测温，方便装卸工件极限真空度3*10^-4Pa 全程控工艺过程 2~3个工位
阴极发射特性研究系统
	用于研究阴极表面发射特性极限真空度：510^-8Pa 可移动阴极，*的传动和定位系统专