进口真空镀膜机 ei-5z 日本ULVAC 高真空蒸发镀膜设备 ei-5z

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产品型号:ei-5z
 牌:爱发科 ULVAC
公司名称:青岛益嘉元科贸有限公司
  地:山东青岛
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产品简介

真空镀膜机ei-5z是用于在半导体或特种材料的基板上进行多种金属或合金以及ITO材料真空镀膜的批处理式高真空蒸发镀膜设备。
进口真空镀膜机ei-5z日本ULVAC高真空蒸发镀膜设备可通过触摸屏进行集中操作控制,自动完成从真空排气至镀膜的所有过程,适用于研究开发及小批量生产。
进口真空镀膜机 ei-5z 日本ULVAC 高真空蒸发镀膜设备

产品详细信息

 真空镀膜机 ei-5z

 日本ULVAC

高真空蒸发镀膜设备

 
日本原装进口

    进口真空镀膜机 ei-5z 日本ULVAC 高真空蒸发镀膜设备是用于在半导体或特种材料

的基板上进行多种金属或合金以及ITO材料真空镀膜的批处理式高真空蒸发镀膜设备。
     进口真空镀膜机 ei-5z 日本ULVAC 高真空蒸发镀膜设备可通过触摸屏进行集中操

作控制,自动完成从真空排气至镀膜的所有过程,适用于研究开发及小批量生产。
 
 
特点:
y可同时安装电子束蒸发源和电阻加热式蒸发源 ;
y能够适合垂直入射的蒸发镀膜工艺 ;
y设备适合穿墙式安装设置方式 ;
y设备采用全自动控制的运行方式、高效、稳定。
 【规格】
型号
Ei-5Z
1.      基板
1) 材料
2) 尺寸规格
 
 
(Si)、砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、玻璃(Glass)、陶瓷(Ceramic)
Φ2 ~8inch圆片及各种形状的基板
 
2. 真空条件
1) 前级泵
2)主泵
3) 极限压强
4) 排气速度
 
油旋片泵(型号:EC-803) 排气速度:1340/1600L/min at 50/60Hz
低温泵(CRYO-U16P) 排气速度(N2):5000L/sec
3.0×10-5Pa 或更低 20分钟内达到 3.0×10-4 Pa
 
3. 成膜
1) 蒸发源
2) 基板保持架
3) 膜厚均匀性
 
电子束蒸发(10kw,16kw), 热阻蒸发 / 挡板共用
公转盘,行星盘
基板内、基板间Φ2~8inch均在±5%以内
 
4. 基板加热
 
红外灯加热 (*高350°C)
5. 操作模式
 
GPCS-2700 触摸屏控制: PC+PLC
 
6. 附设
1) 供电
2) 冷却水
3) 压缩空气
4) 放气(氮气)
5) 接地
 
 
AC200V±10%,φ3,50/60 Hz,50 kVA 29 L/min, 20~28°C, 电阻率 5 kΩcm,需要压力 0.4 MPa, 背压 0.05 MPa
0.4 ~0.7 MPa
0.2 MPa放气及低温泵再生
A & D (JEM,JEC)

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