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MDA-400M型紫外曝光机/光刻机 MDA-400M

MDA-400M型紫外曝光机/光刻机 MDA-400M
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产品价格： < 面议
产品型号：MDA-400M
品 牌：其它品牌
公司名称：维思特科仪有限公司
所 在 地：湖北武汉
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产品简介

MYCRO韩国制造的紫外曝光系统，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。MDA-400M系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。

产品详细信息

系统组件：
紫外光源构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
紫外光源透镜
紫外光源镜片
紫外灯电源系统
操作控制器
350W紫外灯
 
参数：
晶片台          
基底尺寸       标准尺寸 *大至4英寸；可选*大至6英寸；
托盘       标准尺寸 *大至4英寸；可选*大至6英寸；
活动范围
X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta：      4 degree
 
对准精度       1um
挤入补偿       Air bearing型
Z轴滑动手动
真空泵    无油真空泵
掩膜台   
掩膜夹具类型       真空吸附和机械夹取
紫外光源     
紫外灯    350 瓦
均匀光束大小       4.25“ X 4.25“
曝光模式       压缩/真空/相邻
曝光时间控制       可编程控制型
曝光定时器    1 ~ 999.9 秒
需要更详细的咨询，请与内地营销服务中心 邓先生，刘先生联系
Tel:(上海)(武汉) mobile:0 QQ:7155874 Email:aaron_deng@126.com,aaron_deng@mycro.com.cn MSN:aaron_deng@hotmail.com aaron_deng@kobuyonline.com

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