采用新开发的双模式分析器,从数秒至数十秒的时间内得到数µm以下的高分辨元素图、化学状态图,是真正的成图XPS。并且,若在图像上以鼠标点击指定分析位置,则无需移动样品,便可进…
技术参数
1.图像分辩率:3µm左右2.灵敏度:MgX线,1.0eV FWHM) 微区分析:9,200kcps;27µmΦ:20kcps3.灵敏度:单色X线,0.48eV FWHM) 微区分析:250kcps;27µmΦ:1kcps
主要特点