硅片厚度测量仪硅片厚度测量仪

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产品型号：硅片厚度测量仪

品牌：其它的品牌

公司名称：北京华海恒辉科技有限公司

所在地：北京海淀

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产品简介

硅片厚度测量仪
 
 
·  硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能（选配）
用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。
·  特长
适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更换规格时（更换档位销）
用提升杠杆发打印输出指

产品详细信息

硅片厚度测量仪

· 硅片厚度数据的管理方法

1、数据收集功能（选配）

用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。

2、打印功能

在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。

· 特长

适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）

更换规格时（更换档位销）

用提升杠杆发打印输出指令（给打印机或PC）

型号		6英寸用	8英寸用	12英寸用
商品编号		09002501	09002505	090025011
精度（温度20℃±1℃）		累积指示误差±0．15μm 行程3 mm以内重复精度0．2μm（20）
测量部	传感器	PH-01
	测力	1．2～2N/0～5 mm
	硅片直径	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″
	收张行程	5mm	5 mm	5mm
	尺寸	160(W)×175(D)×185(H)mm	200(W) ×210(D)×185(H)mm	300(W) ×291(D)×185(H)mm
显示部件	形式	DH-151
	显示部	绿色荧光显示管
	显示位数	7位及［—］号
	*小显示量	0．0001 mm （ 0．1μm）
	尺寸重量	278(W) ×300(D)×81(H)mm, 约2．7kg
	电源	AC85～250V， 50/60HZ, 10VA
	电源电缆	3m AC可分析