纳米定位平台 NS-X25-01
产品简介
纳米位移系统**技术取得了国家知识产权局核发的**证书,拥有自主知识产权,该技术源于美国,在中国生产制造。 纳米位移系统的应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种高新技术行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。 纳米位移台是一种机械装置,内部有一个或多个压电陶瓷,由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。三英设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置高精密传感器,闭环控制时,三英的传感器技术在保证线性度的前提下,可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。 控制器为纳米位移台提供电源。在闭环控制时,纳米位移台内部的传感器为控制器提供位移数据。控制器周期性的处理位移数据并修正输出电压信号,从而使位移数据与指令数据相同。 三英提供简单易用的软件。纳米位移系统
产品详细信息
型号 |
NS-X25-01 |
单位 |
运动轴 |
X |
|
传感器类型 |
电容式 |
|
闭环行程 |
25 |
μm |
闭环分辨率 |
0.1 |
nm |
线性度 |
0.03 |
% |
迟滞 |
0.1 |
% |
无载谐振频率 |
4000 |
Hz |
驱动电压 |
-30~+150 |
V |
电缆长度 |
2 |
m |
连接器类型 |
D-sub15 |
|
位移台材料 |
铝合金 |
|
*大负载 |
1 |
kg |
体积 |
40 x 54 x 15.5 |
mm |