inficonBCG450 inficonBCG450
产品简介
inficonBCG450益处 BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量安装与设置的复杂性 10 托以上的压力测量不受气体类型限制,能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性 备有可选的图形显示屏和现场总线接口 RoHS 合规 inficonBCG450典型应用 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量 工业镀膜 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
产品详细信息
inficonBCG450益处
10 托以上的压力测量不受气体类型限制,能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
RoHS 合规
inficonBCG450典型应用
工业镀膜
低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
inficonBCG45
规格
类型 | BCG450 | |
---|---|---|
测量范围 | 5×10-10 … 1500 | |
精度 | ||
10-8 … 50 毫巴 | % of reading | ±15 |
50 … 950 毫巴 | % of reading | ±5 |
950 … 1050 毫巴 | % of reading | ±2.5 |
可重复性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
热离子发射 | mbar | 2×10-2 (high) |
(可选高/低,通过 RS232 / 现场总线) | mbar | 8×10-3 (low) |
除气 (1) | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
压力,*大 | bar (absolute) | 5 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 … +50 |
贮存 | °C | -20 … +70 |
在法兰处烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
电源电压 | 20 … 28 | |
输出信号模拟 | ||
输出信号 | V | 0 … 10.3 |
测量范围输出 | V | 0.774 … 10.3 |
电压与压强之间的关系 | volts per decade | 0.75 |
错误信号 | V | 0.3 / 0.5 |
*小负载 | kΩ | 10 |
接口(数字)(2) | RS232C | |
连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
电缆长度,*大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
保护等级 | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 从属传讯 | polling only | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | 60 | |
设定点继电器: 连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ 电源电压 | 11 … 25 | |
真空计电源电压 | 20 … 28 | |
DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
Profibus DP | ||
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | 60 | |
Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
以太网 | ||
以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |
通讯标准 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
节点地址 | Explicit Device Identification | |
物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
(1) 除气期间降低精度
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m