STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵 STPA2203C

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产品型号：STPA2203C

品牌：Edwards

公司名称：英国爱德华真空泵-Edwards

所在地：上海闵行

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产品简介

STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵
STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子，可实现的性能，大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间，而且采用直流驱动，无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用，并得到了。

产品详细信息

概述
Edwards STPA2203C 是为半导体应用而设计的涡轮分子泵。它使用的转子，可实现的性能，大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间，而且采用直流驱动，无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用，并得到了。

应用
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势
的转子设计
更高的气体吞吐量
大的制程灵活性
5 轴磁悬浮系统
无污染
少维护
防腐蚀
可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动

无电池运行

数据

入口法兰	ISO250F
	KF40
吹扫口	KF10
水冷却接头	PT1/4
抽速
N2	2200 ls-1
H2	1700 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>2.5 x 104
极限压力	10-6 Pa
	(10-8 Torr)
允许的大前级压力	400 Pa
	(3 Torr)
大氮气吞吐量	1500 sccm
额定速度	27000 rpm
启动时间	7 分钟
固定位置	任意
水冷却流量	2 lmin-1
水冷却温度	5-25 °C
压力	0.3 MPa
的吹扫气体流量	20 sccm
输入电压	200 至 240 (± 10) V 交流
功耗	1.5 kVA
泵重量	61 kg
控制器重量	12 kg