EPX500LE Edwards半导体高真空干泵 EPX500LE
产品简介
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500LE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
产品详细信息
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX500LE 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵应用
EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“LE”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX 节省了占地面积。EPX真空泵可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX真空泵仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX干泵可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX干泵 基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
新的紧凑型 EPX500LE 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500LE基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到结构的网络,以进行远程控制和监视。
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵应用
EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“LE”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一,EPX 节省了占地面积。EPX真空泵可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX真空泵仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX干泵可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX干泵 基于经过现场验证的IPX,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵数据
峰值速度 | 500 m3h-1 |
|
295 ft3min-1 |
|
8338 l min-1 |
极限真空 |
|
|
<1 x 10-6 mbar |
|
<7 x 10-7 Torr |
|
<1 x 10-4 Pa |
预热时间(达到标称性能) | 30 分钟 |
入口法兰 | ISO160 |
法兰 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) |
冷却水流速 | 2 lmin-1 |
冷却水温度 | 15 – 35°C |
电源供给 | 200/208 V,50/60 Hz,3 相 |
极限功率 | 1.4 kW |
电机额定功率 | 3.0 kW |
TIM | 无 |
重量 | 45.2 kg |