吉永商事日本6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机,边抛机BBS E-150200 BBS E-150/200/300

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产品型号:BBS E-150/200/300
 牌:其它品牌
公司名称:上海瞻驰光电科技有限公司
  地:上海松江
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产品简介

1. 设备名称
6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II
(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)
2. 设备用途
本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)

产品详细信息


1. 设备名称

6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II

(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)

2. 设备用途

本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)


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