EHS系列 桌子型测量平台
产品简介
EHS系列桌子型测量平台 用途 膜厚计、段差计、線幅、測長計測、 激光干渉計測、其他 計測機器 特長： 水平方向支持机构‘sbm机构”(pat。p / usp)。低水平的自旋等。 配备设备的重量无关,在水平方向固有振动数几乎一定可以了。 幽灵,垂直方向来看,除振兴机构
产品详细信息
EHS系列桌子型测量平台
水平方向支持机构‘sbm机构”(pat。p / usp)。低水平的自旋等。
配备设备的重量无关,在水平方向固有振动数几乎一定可以了。
幽灵,垂直方向来看,除振兴机构
型号
名称
平台尺寸
长*宽*高mm
厚度(来电询)
*大承重kg
平面度
固有频率
隔振方式
备注
EHS-68
桌子型测量平台
600×800×750
120kg
垂直方向:1.6-2.2Hz
水平反向:1.2-1.8Hz
1.气弹簧
2.光面平台,无螺孔.
EHS-77
桌子型测量平台
700×700×750
120kg
垂直方向:1.6-2.2Hz
水平反向:1.2-1.8Hz
1.气弹簧
2.光面平台,无螺孔.
EHS-87
桌子型测量平台
800×700×750
120kg
垂直方向:1.6-2.2Hz
水平反向:1.2-1.8Hz
1.气弹簧
2.光面平台,无螺孔.
EAS-107
桌子型测量平台
1050×750×750
120kg
垂直方向:1.6-2.2Hz
水平反向:1.2-1.8Hz
1.气弹簧
2.光面平台,无螺孔.
用途 膜厚计、段差计、線幅、測長計測、
激光干渉計測、其他 計測機器
特長：
EHS
EHS系列 桌子型测量平台
其他产品
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