10KW半导体制程Dummy Load 8931-230
产品简介
10KW半导体制程Dummy Load为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要优良的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
产品详细信息
10KW半导体制程Dummy Load
Termination Load 精密负载为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要**的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
10KW半导体制程Dummy Load提供超稳定，低VSWR 的，针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时，Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差，控制一个更关键的过程变量稳定。
选型列表
|
型号 |
功率等级 |
频率范围 |
冷却方式 |
预设接口 |
重量（kg） |
|
8890-320 |
5kW |
DC-2.4GHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
33kg |
|
8921 |
5kW |
DC-1GHz |
自然冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
|
8931-230 |
10kW |
DC-1GHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
|
8921SC13 |
5kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
自然冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
|
8931-230SC13 |
10kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
|
8941-230SC13 |
15kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 DIN（f）接口 |
107kg |
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