日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应 CS4800
产品简介
日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应 日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
产品详细信息
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- GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的软件操作系统。
测量精度 | 1nm(3σ)(采用日立标准晶圆) |
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晶圆尺寸 | 直径 100mm, 150mm, 200mm |
自动装片装置 | 2个 |
设备尺寸(主体) | 1180(宽)× 2500(长)× 1990(高)毫米 |