晶体退火炉 YYJ1800-30

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产品型号：YYJ1800-30

品牌：燕园科技

公司名称：东莞燕园半导体科技有限公司

所在地：广东东莞

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产品简介

本款晶体退火炉是我公司吸收国外同类产品的基础上，与北京大学东莞光电研究院共同研发出的一款用于晶棒、晶片、新式炉。该炉采用1900型硅钼棒作为发热体和本公司**氧化锆内衬炉膛。本款晶体退火炉可在1700℃连续使用，*高温度达1800℃。侧开式炉门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或惰型气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度稳定度达±1℃，*高温度为1800℃。真空系统采用特种设计，具有操作**、方便、真空度好，极限真空度可达20KPa，密封性好，真空保持时间长。该气氛可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用独特的密封技术，可长时间保压，案例性能好，操作方便。

产品详细信息

本系列退火炉是本公司采用国际先进技术，自行研制开发的高性能、高节能的新型电炉，采用节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温并使得内腔温度分布均匀。采用40段智能型程序控制器全过程自动控制温度，综合性能指标较高，处于国内**水平。

YYJ1700系列退火炉规格型号

型号	工作室尺寸（mm）D×W×H	功率（kw）	*高温度℃	额定温度℃	加热元件	电压	升温速率
YYJ1700-20	200×150×150	7	1700℃	1600℃	硅钼棒	220V	≤20℃/min
YYJ1700-30	300×200×200	10	1700℃	1600℃	硅钼棒	380V	≤20℃/min
YYJ1700-30A	300×250×250	12	1700℃	1600℃	硅钼棒	380V	≤20℃/min
YYJ1700-40	400×300×300	16	1700℃	1600℃	硅钼棒	380V	≤20℃/min
YYJ1700-50	500×300×300	18	1700℃	1600℃	硅钼棒	380V	≤20℃/min