重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸 SMIF POD清洁系统CP-2200
产品简介
重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸 重庆内藤机械设备有限公司 重庆内藤供应HUGLE藤宫SMIF POD清洁系统CP-2200容器清洗8英寸
产品详细信息
SMIF POD清洁系统CP-2200
这是为了**清洁和干燥8英寸SMIF POD而开发的前端操作方法的手动设定方法。
CP-2200是一种清洁和干燥设备，适用于研究用途，中试线等，具有半导体设备和先进技术的容器清洁设备制造商独有的先进知识。
CP-2200也可以使用盒式清洁/干燥等。
产品概述
●SMIF箱，同时纯水射流清洗，基部内表面的气刀暖风干燥的盖部的内表面和外表面
●吊舱旋转时，设置在靠近喷嘴的精密清洗，干燥
●除了洗涤少量期间纯净水引流到预防**的产生
操作方便通过●触摸屏
●序器系统通过控制器
●友好的操作者的各种**装置
●维修方便
可以是各种各样的设计能够满足需求的办法●
规范
| 设定方法 | 手册 | |
| 处理目标 | 8英寸SMIF POD / 8英寸盒式磁带 | |
| 处理时间 | 1套/ 15分钟 | |
| 外部尺寸 | 1300（宽）x 70（长）x 1580（高）毫米（当室门打开时） | |
| 重量 | 300公斤 | |
| 电源 | 3相，200 VAC（带接地），8 KVA，50/60 Hz | |
| 纯净水 | 流量 | 10升/分钟（低要求流量） |
| 压力 | 0.1 Mpa | |
|
CDA （干净的干燥空气） |
流量 | 1600 NL / min |
| 压力 | 0.7 Mpa | |
| 排气 | 发动机排量 | 2000 NL / min或更高 |
| 引流 | 流量 | 40升/分钟以上 |
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