日本Dna-Takuma PLS型化学空气过滤器 PLS

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产品型号:PLS
 牌:Dna-Takuma
公司名称:工品汇科技(深圳)有限公司
  地:广东深圳
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产品简介

PLS型化学空气过滤器
为使用ArF准分子激光器的曝光设备开发的高性能化学过滤器
高去除率,长寿命有机物去除过滤器
高效率地去除**基硅烷醇(TMS)等低沸点有机物质
低压力损失[与我们相同尺寸的传统产品相比大约为1/2]

产品详细信息

PLS型化学空气过滤器

为使用ArF准分子激光器的曝光设备开发的高性能化学过滤器

高去除率,长寿命有机物去除过滤器

高效率地去除**基硅烷醇(TMS)等低沸点有机物质

低压力损失[与我们相同尺寸的传统产品相比大约为1/2]

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