日本Dna-Takuma PLS型化学空气过滤器 PLS
产品简介
PLS型化学空气过滤器 为使用ArF准分子激光器的曝光设备开发的高性能化学过滤器 高去除率,长寿命有机物去除过滤器 高效率地去除**基硅烷醇(TMS)等低沸点有机物质 低压力损失[与我们相同尺寸的传统产品相比大约为1/2]
产品详细信息
PLS型化学空气过滤器
为使用ArF准分子激光器的曝光设备开发的高性能化学过滤器
高去除率,长寿命有机物去除过滤器
高效率地去除**基硅烷醇(TMS)等低沸点有机物质
低压力损失[与我们相同尺寸的传统产品相比大约为1/2]