碳镀钨蒸等离子溅射复合镀膜仪 TN-PEC250G-HV

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产品型号:TN-PEC250G-HV
 牌:泰诺
公司名称:郑州泰诺薄膜材料有限公司
  地:河南郑州
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产品简介

碳镀钨蒸等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射,它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理,碳镀钨蒸等离子溅射复合镀膜仪采用机械泵和分子泵,实现高真空。

产品详细信息

○ 产品介绍

TN-PEC250G-HV碳镀钨蒸等离子溅射复合镀膜仪可进行真空蒸碳、真空热蒸发和等离子溅射,它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。通过更换功能套件,设备可以在多种功能间快速切换,非常适合实验室制作SEM样品使用。本仪器装有机械泵和分子泵,能够满足多种真空度要求,尤其能够实现高真空,能够有效提高镀膜质量。

○ 适用范围

实验室镀膜使用。

○ 技术参数

真空腔体
 高纯石英,状,φ250x340mm
蒸发腔体 
 高纯石英罩状,带侧面开孔,尺寸φ88x150mm
等离子溅射腔体
 高纯石英罩状,带侧面开孔,尺寸φ88x150mm


 等离子溅射套件 

 溅射电压 1600V

*大电流 50mA
靶面尺寸 2英寸
工作真空 10Pa~20Pa
工作气氛 需通入高纯氩气

 热蒸发镀膜套件

 蒸发源数量 2个

*大电流 100A
工作真空 10^-3Pa
工作气氛 不通入任何气体
样品台 直径φ60mm,可旋转


 碳蒸发套件

 蒸发方式 碳棒蒸发

*大电流 160A
工作真空 10^-3Pa
工作气氛 不通入任何气体
真空系统
 产品型号 TN-GZK103-A
分子泵 涡轮分子泵
前极泵 双极旋片泵
抽气速率 分子泵:600L/S 综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa
旋片泵:1.1L/S
极限真空 5×10E-4Pa
抽气接口 KF40
排气接口 KF16
真空测量 复合真空计
进气系统
 配有手动微调阀,接口为1/4英寸卡套接头
供电要求
 AC 220V 50Hz

○免责声明

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