等离子增强型CVD系统 TN-O1200-50IS-PECVD

结构特点

• 150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

  • 3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精准的调控 

工作电源

 • AC208-220V，50/60Hz

• 总功率：4KW

单温区管式炉

 • 较高温度：1100ºC(< 2h) 连续工作温度：1000℃

 • PID温度控制器以及30段可编程温控系统 

• 输入功率：220V，单相，功率：1.5KW

• 加热区长度：200mm，恒温区：100mm 

• 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管 

等离子射频电源

• 输出功率：0-150W可调（稳定性：±1%）

• 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)

• 较大反射功率：150W

 • 匹配：自动匹配

• 射频输出端口：50Ω、N型

• 噪音：＜50dB

• 冷却: 空气冷却

• 电源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

• 高纯石英管

• 尺寸：φ50mm*1200mm L 

密封法兰  

• 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）

真空泵（该部分为选配，单独计费）

• 双级真空泵 

• KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵 

3通道质子流量计控制系统（该部分为选配，单独计费）

• 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精准控制（精准度：±0.02%） 

• 流量范围: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

• 电压：220V AC 50/60Hz

• 气体进出口配件：直径6.35mm不锈钢管

• 不锈钢针阀用于手动控制气体进出

尺寸和重量

 • 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

 • 净重：90kg  

质保期

• 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）

质量认证

 • CE认证 

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa 

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀 

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 • 石英管的长时间使用温度＜1100℃

 • 对于样品加热的实验，使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。