MT-30AM 模拟式系列热式气体质量流量控制器 MT-30AM 模拟式系列

概要                               

MT-30AM系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
特点                               

模拟式热质式流量计/流量控制器：
-低单价,高性能,高精度
-环境温度补正
-可应用的流率范围广：
-0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
-0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
可选用MT系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容

应用                               

工业设施的气体供应监测/控制。
气体分析设备。
固定气体流量控制。
气体混合或分离设备

标准                                气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出                           
低价格，高性能,高精度
MT-30AM 模拟式系列
热式质量流量計/流量控制器
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

(小体积型)
型号                              

MT-30AM □ □ － □□□ － □□□ － □ □ □
型式 A 模拟式
 B 数字式
功能  M 流量计
  C 流量控制器
流量范围  ABC 
气体种类  013 N2
  008 Air
  015 O2
  004 Ar
  025 CO2
  001 He
  FFF 其他
接头 1/4”VCR 1 
 1/2”VCR 2 
 3”SWL 3 
 6”SWL 4 
 其他 F 
讯号 DC 0~5V 1 
 其他 2 
电源 DC+/-15V 1

 流量范围是以mL/min，L/min 为单位
 例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
 50 L/min(nor) 表示为50L

功能 流量计/控制器
基本型号  MT-30AM
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
 ±2(＞15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
 ±2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
耐压 3MPa
介质接触材质 304，316，316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
 Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 0.75KG