| 例：型号623AXXXYZ |
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量程（Torr） （XXX）
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采购序列号
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0.1
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.1T
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1
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01T
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2
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02T
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10
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11T
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20
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21T
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100
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12T
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500
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52T
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1000
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13T
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| 装配件（Y） |
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1∕2”管道
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A
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Swagelok®8VCR®凹接口
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B
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Mini－CF， 可转动
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C
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NW 16 KF
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D
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Swagelok®8VCO®凹接口
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E
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NW 25 KF
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Q
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2 3/4” CF,可转动
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L
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| 精度（Z） |
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标配：读数的±0.25﹪(对0.10 Torr量程为选配)
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E
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标配：读数的±0.50﹪(0.10 Torr量程)
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F
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选配：读数的±0.15﹪（金堆0、100、1000Torr量程）
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D
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| 626A型的配套电缆 |
CB2000S-1-M1用于江（2）626连接到PDR2000 电源
CB258-1-10用于将626连接到250，244
CB259-5-10用于将626连接到pr4000,146,186,651,660 |
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| 备注 |
1） 对于DeviceNetTM和Profibus数字传输的配置，请联系MKS应用工程部。
2） 对于压力计的隔离，可采用MKS系列产品中的CvTM阀门以及实时诊断通路（IDATM）阀门。 |
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