纳米表面测量仪 MicroProf / MicroGlider

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产品型号：MicroProf / MicroGlider

品牌：德国FRT公司

公司名称：北京德华振峡科技有限公司

所在地：上海嘉定

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产品简介

德国FRT测量系统应用于所有类型的表面测量分析。纳米表面测量仪采用一个或多个传感器高精密测量轮廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光学白光色差传感器进行非接触无损伤测量，工作距离大，快速输出2D或3D测量数据。适合研发和质控领域应用范围：半导体晶片加工检测；钠米刻蚀和操作；MEMS；IC封装；汽车制造系统；复合材料分析；生物分析磨擦分析；薄膜厚度测量，微细结构分析等。

产品详细信息

表面摩擦分析注塑模型腔分析

纳米表面测量仪使用光学色差传感器FRT CWL详细介绍如下：

光学色差传感器FRT CWL 工作原理和技术数据

光学色差传感器（Chromatic sensor FRT CWL）非接触地测量零件的表面，具有高分辨率和高测量精度。传感器可以测量所有的表面，与被测零件的反射能力，粗糙度和颜色无关。非常小的测量斑点保证了很高的几何位置分辨率。采用不同的测量头，能够达到纳米级的高分辨率和毫米级的测量范围。测量是同轴进行的，避免了在照明方向和测量方向不一致时产生的光晕现象。

测量的基本原理是，用白光进行逐点距离测量。聚焦白光照射被测零件表面，传感器测量反射光线的波长分布，由此测定零件的**高度。由于各种原因产生的光强变化不影响测量，比如不同的材料，划痕或表面粗糙度。

色差传感器的距离测量与传统的光学测试头的本质区别是在测量方向无移动部件，无磨损测量。由于跟踪透镜的系统摆动而产生的误差被彻底消除了。

色差传感器不仅给测量仪器提供了出色的技术特性，而且坚固结实，非常适合复杂生产环境的特殊要求。被动式的测试头通过光纤与电子单元连接，可以距离传感器电子系统数米远工作。

FRT CWL 的工作原理是色差距离测量。白光通过测试头，以不同波长的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光线的光谱，在光谱仪中有一个峰值，由这个峰值波长来确定零件的高度。利用这个原理，传感器能毫无问题地测量透明的，高反射的，或者黑色的表面。这种测量非常迅速，而且没有边缘效应（艾伯哈特效应）。

色差传感器有一个LC 显示器实时显示测量值，通过功能键可以设置传感器功能。通过RS232 接口与系统连接。

MicroProf 基本型号：

	MicroProf 100	MicroProf 200	MicroProf 300	MicroProf 600
测量范围*	100mmX100mm	200mmX200mm	300mmX300mm	600mmX600mm
测量速度	100mm/sec	100mm/sec	100mm/sec	100mm/sec
测量零件高度*	Max. 50mm	Max. 50mm	Max. 50mm	Max. 50mm
测量头装置	Heidenhain	Heidenhain	Heidenhain	Heidenhain
	光电测量编码器	光电测量编码器	光电测量编码器	光电测量编码器
工作台	直线电机驱动	直线电机驱动	直线电机驱动	直线电机驱动
仪器结构	花岗岩悬臂结构	花岗岩龙门结构	花岗岩龙门结构	花岗岩龙门结构