白光干涉仪 FRT WLI
产品简介
白光干涉仪采用白光干涉测量传感器,其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数:测量原理:白光干涉测量;测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围:100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm;X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;工作距离:3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
产品详细信息
白光干涉仪
详细技术参数:
测量原理 白光干涉测量
测量物镜 10X 20X 50X
垂直测量范围: 100um(400um可选)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y测量范围: 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距离: 3.6mm 3.6mm 1.7mm
侧向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
白光干涉仪