FRT薄膜厚度测量仪 MicroProf FTR

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产品型号：MicroProf FTR

品牌：德国FRT公司

公司名称：北京德华振峡科技有限公司

所在地：上海嘉定

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产品简介

    FRT薄膜厚度测量仪采用膜层厚度测量传感器，非接触测量表面膜层，测量范围从10nm--250um，广泛应用于半导体晶片、光学镀膜加工、漆膜、氧化表面层测量。

产品详细信息

FRT薄膜厚度测量仪

薄膜层厚测量传感器 FTR

薄膜层厚测量传感器FTR为专用的膜层测量仪器，通过于MicroProf型MicroGlider 型结合使用，可应用于各种高精度的测量场合，其层厚分辨率可达1nm；非接触无损测量更拓宽了其应用场合；如光学镀膜加工（膜层厚度、消光系数等参数）；半导体硅片表面膜层分析；氧化表面微细分析、漆膜等等

薄膜层厚测量传感器FTR技术参数：

测量原理	反射测量（非接触）
光源	卤素灯			氚-卤素灯
波长范围	400—850nm	650—1100nm	400—1100nm	250nm—850nm	250—1100nm
层厚测量范围	50nm-20um	70nm-70um	50nm-100um*	10nm-20um	10nm-70um
层厚分辨率	1 nm
X,Y轴分辨率	0.1um