FRT薄膜厚度测量仪 MicroProf FTR

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产品型号:MicroProf FTR
 牌:德国FRT公司
公司名称:北京德华振峡科技有限公司
  地:上海嘉定
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产品简介

    FRT薄膜厚度测量仪采用膜层厚度测量传感器,非接触测量表面膜层,测量范围从10nm--250um,广泛应用于半导体晶片、光学镀膜加工、漆膜、氧化表面层测量。

产品详细信息

FRT薄膜厚度测量仪 

薄膜层厚测量传感器 FTR

薄膜层厚测量传感器FTR为专用的膜层测量仪器,通过于MicroProfMicroGlider 型结合使用,可应用于各种高精度的测量场合,其层厚分辨率可达1nm;非接触无损测量更拓宽了其应用场合;如光学镀膜加工(膜层厚度、消光系数等参数);半导体硅片表面膜层分析;氧化表面微细分析、漆膜等等

 

薄膜层厚测量传感器FTR技术参数:

测量原理

                                                                     反射测量(非接触)

光源

                   卤素灯

          -卤素灯

波长范围

400—850nm

650—1100nm

400—1100nm

250nm—850nm

250—1100nm

层厚测量范围

50nm-20um

70nm-70um

50nm-100um*

10nm-20um

10nm-70um

层厚分辨率

                                                                         1  nm

X,Y轴分辨率

                                                                         0.1um

注:*----可选1um—250um

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