SL-3供气（混气）系统 SL-3
产品简介
SL-3供气（混气）系统供气（混气）系统本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，**可靠！ 本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。
产品详细信息
SL-3供气（混气）系统
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主要特点：
1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。
2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，**有保证。
4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。
5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
技术参数： 气路通道：3（可根据客户需求设计1-8通道）
气路流量控制器采用质量流量计控制：
标准量程（N2） ：200，500 SCCM
准 确 度 ：±1.5%
线 性 ：±0.5～1.5%
重 复 精 度 ：±0.2%
响 应 时 间 ：气特性 1～4 See
电特性 10 See
工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa
* 大 压 力 ：3 MPa
接 口 ：Φ6,1/4”
显 示 ：4位数字显示
工作环境温度:5~45℃
高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内
压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截 止 阀 ：Φ6
备注：可选配质量流量计 |
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