晶体生长炉--SKJ-50CZ

SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉，可针对于材料的实验探索，也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶，如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，*高温度可达2100℃，*大可长出晶体尺寸为3英寸。

技术参数

• 感应射频功率为25KW，射频0.2 - 20 KHz
• 提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶杆旋转速度0 ~~ 40 RPM
• *大提拉行程：50CM
• *大可熔融温度为：2100℃
• 输入电源：三相，380V，25KW
• 真空腔体尺寸为 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以达到10-3 torr（用机械泵）10-5 tor（用扩散泵）
• 冷却水需求：
• 所需水压 0.13~~0.18MPa
• 所需水流量60 L/minute
• 冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆
  产品尺寸:
• 炉体: L880x W1250x H2640mm
• 控制柜:L680x W540x H1700mm
• 中频柜: L965xW 812xH 1219mm
• 产品净重 1.5 T
  
  

  培料的熔融	种仔晶	提拉	熔融