2英寸高真空磁控溅射头-HVMSS-SPC-2

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公司名称：上海升利测试仪器有限公司

所在地：江苏昆山

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产品简介

2英寸高真空磁控溅射头-HVMSS-SPC-2

HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。

技术参数

特征 (点击图片查看详细资料）	采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配安装是采用标准真空接头，便于操作更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度
所需功率	DC（大）1000W RF（大）500W
*大溅射电流	3A
溅射电压	100-1000 V
溅射时腔体真空度	5-100 mTorr
溅射均匀性曲线图
尺寸	阳极护套直径：3.5英寸总长度：14英寸
靶材	直径: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 对于非磁性靶材，大厚度为1/8英寸对于磁性靶材，大厚度为1/16英寸靶材利用率：30% 磁铁:NdFeB 稀土磁铁
需要冷却水	流速: 0.8 GPM 进水温度:<20 ℃ 水管:0.25" OD.
可选配件	当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
外形尺寸
质保	一年质保期，终生维护