3英寸迷你型等离子清洗机--PDC-36G

名称

3"等离子清洗机--PDC-36G

视频

主要特点

·结构紧凑、小型化的桌上型仪器

·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物

·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的**工具。清洗后镀膜的质量可以更好

·铰链式门，方便装样

·石英腔的直径是3英寸，在里面可以放入一个石英舟，*大清洗一个2英寸的基片

·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换

·使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、**别；低成本、操作**

主要参数

·低功率设定：直流680V，10mA,6.8W

·**率设定：直流700V，15mA,10.5W

·高功率设定：直流720V，25mA,18W

·射频源输出频率：13.56MHz

·等离子直流电源

·输入电压：220V,50Hz

等离子腔室

·直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启

·高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长

真空计

设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

可选配件

·您可以订购额外的石英腔体，用于备用

·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面**张图片了解详情）

·您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

真空泵和阀

·此设备不包含真空泵

·您可以点击下方图片了解真空泵信息

工作气体

·多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。

·可以使用<4％的H2混合惰性气体

·警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体

等离子清洗及刻蚀的方法

外形尺寸

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

净重

8kg（不含泵）

认证

CE认证

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

工作原理

等离子清洗机工作原理

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