真空旋转涂膜机--VTC-100PA(加热型)
产品简介
真空旋转涂膜机--VTC-100PA(加热型)
产品详细信息
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
技术参数
主要特点 |
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参数 |
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进气口 |
上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆
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可选加热部分 |
上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,*高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。
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产品规格 |
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标准配件 |
1 |
真空吸盘(含O型圈) |
2个 |
2 |
中心定位器(含4个定位柱) |
1个 |
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3 |
滴胶注射器(20ml) |
1个 |
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4 |
注射器支架 |
1个 |
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5 |
AP-1400V无油真空泵 |
1台 |
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6 |
橡胶管(含卡箍) |
1根 |
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可选配件 |
过滤器(真空泵用) |