PPM级双柱惰性气体净化器
产品简介
GPH-DHDO含有两部分气体净化器(一个用于除氧另一个用于除水),两个净化器用1/4”不锈钢管和两个针阀连接在一起,可以与任何混气系统连接。在室温下,它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如(氮、氦、氖、氩、氪、和氙)中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm,以及可将H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能,可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生,方便长期循环使用。
产品详细信息
GPH-DHDO含有两部分气体净化器(一个用于除氧另一个用于除水),两个净化器用1/4”不锈钢管和两个针阀连接在一起,可以与任何混气系统连接。在室温下,它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如(氮、氦、氖、氩、氪、和氙)中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm,以及可将H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能,可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生,方便长期循环使用。
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技术参数
名称 |
惰性气体净化系统-GPH-DHDO |
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产品特点 |
·输入:输入气体纯度要求:<1000 ppm(99.9%)
·输出:**杂质至<0.1 ppm(O2≤0.1 ppm H2O,-76℃露点温度)(请点击此处转换湿度单位)
·304L不锈钢罐(<10 Ra EP)
·再生操作简单方便
·内置数字温度控制器和气体流量计控制
·再生后可净化多达80L惰性气体
·设备需在270℃下再生(需使用5N纯度的95%N2 + 5%H2气体)
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电源 |
·220v 50Hz
·功率:500W(加热过程中)
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*大压力输出 |
0.5MPa |
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工作温度 |
室温-300℃ |
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气体泄漏率 |
<2 x 10-9 atm cc/sec He |
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温度控制器 |
控温精度±1 ºC |
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*大气流 |
400mL/min |
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CE认证 |
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用提示 |
·您可以选购精密质子流量计,输入气体更加准确(图一)
·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接(图二)
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外形尺寸 |
445mm L X 400mm W X 190mm H |
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