5英寸近距离蒸发镀膜炉（CSS）

炉体结构和真空腔体

• 采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体
  
• 真空腔体为一高纯的石英管，其尺寸为：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法兰

(点击图片查看详细资料）

• 真空法兰为316不锈钢制作
  
• 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
  
• 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
  
• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，用机械泵其腔体内真空度可达10^-2 torr，用分子泵其腔体内真空度可达10^-4torr.

加热元件和载样台

• 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部
  
• 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节，调节范围为：2-50mm
  
• 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）
  
• 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
  
• 底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料
  
• 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（16L/m)
  
  

温控系统

• 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序
  
• 每个温控系统都带有超温和断偶保护
  
• PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中
  
• 控温仪表操作视频
  
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工作温度

• *高工作温度为：800℃
  
• 两个加热区之间的*大温差为300℃

加热和冷却速率

• 加热速率> 8ºC/s（每个温区单独加热）
  
• 冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

热电偶

两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

工作电压

208 - 240VAC, 单相,（需要20A的空气开关）

功率

3KW

可选

• 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵

• 采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr
  
• 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵
  
• 也可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
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质保

一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
  
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
  
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
  
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
  
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）