高真空蒸发镀膜仪

主要特点

• 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
• 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。
• 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。
• 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
  

• 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。
• 样品台安装在腔体的顶部。
• 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。
• 可使用循环水冷机。

技术参数

• 输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW
• 输出：0-8V AC 可调，*大电流400A，*大功率8000W（包括真空泵）
• 真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理
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• 腔门：Φ200mm
• 观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封
• 真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵）
• 真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后）
• 极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃）
• 漏率：5.0×10-7Pa/s
• 样品台：Φ140mm
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• 蒸发舟与样品台间距：260mm
• 冷却水需量：15L/min

产品规格

• 尺寸：650mm×1200mm×1600mm；
• 重量：600kg