氢气炉
产品简介
氢气炉主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种个复杂工艺，具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。
产品详细信息
氢气炉简介
- 用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制
- 采用进口压力控制系统、闭环控制、稳定性高
- 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路密性
- 具有完善到额报警功能及**互锁装置
- 具有良好的人机界面、灵活的工艺性能
技术参数
控制精度
±1℃
电网电压
380V±10%
工作温度
800--1700℃
冷却系统分置
出料口及加热炉体两侧
温度均匀性
±5℃
报警功能
超温、断水、断电报警
保护气体
H2、N2
温控方式
自动/手动
*大真空度
-0.1Mpa
进料方式
电动/手动
炉膛尺寸
160×166马蹄形管（可定制）
*大功率
≤80KW
炉门、进出料口材质：310不锈钢
可通多种气体：氧气、氮气、氩气、氢气
微电脑控制、操作方便，可编程，自动升温，自动保温，自动降温
备注：可选配系统：1、自动泄压进气系统；2、混气供气系统；3、真空机组；4、USB系统，无纸记录仪，随机打印系统；5、坩埚；6、进口1900型材料
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