氢气炉

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产品型号:
 牌:上海升利
公司名称:上海升利测试仪器有限公司
  地:江苏昆山
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产品简介

氢气炉主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种个复杂工艺,具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。

产品详细信息

氢气炉简介

- 用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制

- 采用进口压力控制系统、闭环控制、稳定性高

- 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路密性

- 具有完善到额报警功能及**互锁装置

- 具有良好的人机界面、灵活的工艺性能


技术参数

控制精度

±1

电网电压

380V±10%

工作温度

800--1700

冷却系统分置

出料口及加热炉体两侧

温度均匀性

±5

报警功能

超温、断水、断电报警

保护气体

H2N2

温控方式

自动/手动

*大真空度

-0.1Mpa

进料方式

电动/手动

炉膛尺寸

160×166马蹄形管(可定制)

*大功率

80KW

炉门、进出料口材质:310不锈钢

可通多种气体:氧气、氮气、氩气、氢气

微电脑控制、操作方便,可编程,自动升温,自动保温,自动降温


备注:可选配系统:1、自动泄压进气系统;2、混气供气系统;3、真空机组;4、USB系统,无纸记录仪,随机打印系统;5、坩埚;6、进口1900型材料

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