定向CVD生长炉

名称

定向CVD生长炉

主要参数

·*高工作温度 1200°C ( < 1 hour )

·正常工作温度: 1100°C

. 电压;220v

. 功率：1.5W

·加热区：200mm(单温区）

·恒温区：60mm(±1℃）@1000℃

特点

1.双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温

壳体结构

·  采用双层壳体结构，并带有风冷系统

·  一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数

炉管

·  高纯石英管

·  尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L

·  仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性

炉体滑动控制系统

·  触摸屏控制

·  炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。

·  含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。

·  可显示高温炉内的炉温，与之通

滑轨长度

1200MM

控温系统

·  采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序

·  设置有温度过高和断偶保护系统

·  控温精度：±1℃

·  可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中

保修期

一年保修，终身技术支持

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