1700°C二通道混气高真空CVD系统

名称

1700°C二通道混气高真空CVD系统

管

式

炉

系

列

主要参数

·*高工作温度.: 1650°C

·连续工作温度.: 1600°C

. 工作电压： 220V

. 功率： 6KW

. 升温速率： ≤5°C/min

·加热区长度: 457 mm (18")

·恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)

炉管

·  材质: 高纯氧化铝陶瓷管

·  一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

·  （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L

·  （选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

壳体

·  采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度 < 55°C.

·  内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

·  保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失

·  真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动.

·  仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组

真空法兰于接头

·  一对不锈钢真空密封法兰已经安装

·  法兰上带有一机械压力表

·  两个精密针阀

·  一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口

·  一个1/4"卡套接头

控温系统

·  采用PID方式自动控制，并可设置30段升降温程序

·  控温精度: ±1°C                   

·  热电偶: B型，已经安装在炉内

质量

流量

控制

器

壳体

·  采用 316不锈钢制作

·  混气箱尺寸: Φ80X120mm  

·  外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

·  MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根据客户要求定制

参数

功率：18W

工作电压：AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

真

高

空

机

组

参数

功率：100~110W

工作电压：AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

工作范围： 1000 mbar to <1E-7 mbar

壳体

·  壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

·  *大承载量:  600 Lbs on top

·  分子泵控制面板:  LCD 数字显示

控制面板

·  一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） 

·  系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率

保修期

一年保修，终身技术支持

免责声明

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