双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱

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产品型号:
 牌:上海升利
公司名称:上海升利测试仪器有限公司
  地:江苏昆山
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产品简介

双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

产品详细信息

技术参数

名称

双炉体滑动PECVD系统&循环手套

产品结构

·  两个炉体在一个滑轨上面,和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果

·  连续工作温度:1100℃

·  两个炉体都可以设置30段升降温程序

真空系统

·  采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr 

·  KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.

·  管内真空可达10E-2 Tor

等离子射频电源

·  输出频率: 13.56 MHz ±0.005% 

·  *大射频功率: 500W 

·  匹配: 自动匹配

·  噪音: <50 dB. 

·  冷却: 空气冷却. 

·  输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

质量流量计

·  四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.

·  MFC1范围:  0~100 sccm 

·  MFC2和3:   0~200 sccm  

·  MFC4范围:  0~500 sccm 

·  一个混气罐,底部装有泄废液口. 

·  4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.

·  进气口: 4个1/4NPS. 

·  出气口: 4个 1/4NPS. 

·  采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

炉管&密封法兰

·  高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

·  配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有真空计

循环手套箱

·  手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

·  带有除水系统:保持水含量< 2 ppm

·  一真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管相连接

注意事项

·  炉管内气压不可高于0.02MPa

·  由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****

·  当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

·  进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·  石英管的长时间使用温度<1100℃

·  对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等

保修期

一年保修,终身技术支持

免责声明

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