椭偏仪 ELLIP-SR型ELLIP-SE型

本公司生产的椭偏仪适用于大学和科研院所，具有高精度和完整的测量功能。仪器的状态调整、参数设置、数据采集和处理，均通过计算机自动完成。从红外至紫外的宽广光谱区，波长连续可调，入射角度在20度到90度内连续可调。产品主要有两个系列:

1.全自动高精度椭圆偏振光谱仪（ELLIP-SR型）－专业型

主要适用于科研院所的信息光电子功能薄膜、体材料的光学性质和结构特性研究，可被研究材料种类包括：金属和合金、元素和化合物半导体、绝缘体、超导体、磁性和磁光材料、有机材料、多层薄膜材料等。在测量中，可按研究条件同时对入射角和波长进行自动精细扫描，增加研究的灵活性，便于用户获得更多的光谱信息进行数据分析，提高研究的质量和可靠性。该光谱仪的性能指标达到国际同类技术的先进水平 。

主要技术参数：
波长范围 250-830nm(可按需拓展)

光源 氙灯

入射角范围 20-90度
波长分辨率 1.0nm
入射角范围 20-90度
入射角精度 0.001度
椭偏参数精度 D±0.02度；Y±0.01度
光学常数精度 优于0.5％
膜厚准确度 ±0.1nm
测量方式 同步
定标方式 自洽、**
探测器 光电倍增管

主要用途：
1. 各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；
2. 测量薄膜材料的折射率和厚度；
测量对象包括：金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、薄膜材料、光电材料、非线性材料；
测量光学常数：复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R.

　
2.全自动单波长椭圆偏振光谱仪（ELLIP-ER型）-普及型 。
本公司研制的固定波长可变入射角椭圆偏振光谱仪，广泛适用于大学教学和工业生产领域，具有很高的性价比，为一款普及型的光谱测试仪器。

主要技术参数：

波长 650nm
光源 半导体激光器
入射角范围 20-90度
测量模式 反射
 测量方式 旋转起偏和检偏器，自动完成信号测量
 实测光学常数种类 复折射率 复介电常数 吸收系数 反射率
膜厚精度 ±1nm
系统定标方式 自洽、**定标
　
主要用途：

1.各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；
2.测量薄膜材料的折射率和厚度；
测量对象包括：金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料；测量光学常数：复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R.