水基凝聚核粒子计数器 CPC4322/4323

水基凝聚核粒子计数器简介:

在硬盘和TFT-LCD的生产过程中以及半导体产品的处理过程中对悬浮粒子的实时监控是非常重要的。这款水基凝聚核粒子计数器(WCPC)的设计可以满足较高等级洁净室的检测需要。它的小采样粒径可以达到 10 nm, 而且采样流量高达2.83 L/min,可以快速采样或者按照指定流量进行采样。可显示粒子浓度、总粒子数或者浓度变化图表。

优点:

• 快速响应 

• 高采样流速 

• 水基

• 兼容 SMPS 系统

• 小检测粒径达到 7 nm

• 高等级洁净室监测

• 可远程控制

参数:

• 计数效率:50 % @ 7 nm  NaCl 粒子

          100 % @ 10nm  NaCl 粒子

• 采样流量:

    - 1.0 L/min for 4322

    - 2.83 L/min (0.1 cfm) for 4323

• 工作用液体: 去离子水 (推荐使用)

• 大检测浓度:

    - 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - 285.7 X 105 particles / ft3  for 4323

• jing度:

    - ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322

    - ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323

• 12小时背景误计数

    - 0.001 particles/cm3 for 4322

    - 0.0005 particles/cm3 for 4323

• 响应时间(在测试浓度发生变化的情况下):

    - < 5 seconds for 95 % for 4322

    - < 2 seconds for 95 % for 4323

 • 数据通讯:以太网LAN接口, USB 接口或 RS232

 • 操作系统:内置Windows XP

 • 数据储存：FDM (Flash Disk Module) 2GB

可扩展到 60GB

• 气源:内置无刷直流气泵

• 外形尺寸 (L×H×W) :320 × 315 × 260 mm

• 重量:13.4 kg

• 电源:100~240 VAC, 50~65 Hz