NIKON L200A L200A
产品简介
LSI检查显微镜NIKON L200AECLIPSE L200 反射用型ECLIPSE L200D 透反射两用型使用尼康CFI60光学系统,对光路中的耀斑有很好的抑制,可以实现很高的图象对比度。
产品详细信息
LSI检查显微镜
ECLIPSE L200 反射用型
ECLIPSE L200D 透反射两用型
使用尼康CFI60光学系统,对光路中的耀斑有很好的抑制,可以实现很高的图象对比度。
可以观察的大硅片直径为200mm,观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
物镜齐焦距离为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
光亮调节、光阑调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
可以与尼康的硅片输送机配合使用,提高硅片检测效率。
<微分干涉套>
全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜,结构简单,成象质量高