激光全息测微仪0.01um分辨率LGH系列测头 542-926/542-925/542-927/542-928

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产品型号：542-926/542-925/542-927/542-928

品牌：Mitutoyo三丰

公司名称：德美达精密仪器仪表有限公司

所在地：江苏苏州

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产品简介

三丰的Laser Hologage LGH系列542-926/542-925/542-927/542-928激光全息测微计0.00001mm是一种*
数显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高精度和高重复精度测量。它具有*
细衍射光栅，将全息影像记录在刻度尺上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件，激光全息测微计0.00001mm特别适于半导体等行业使用。

产品详细信息

测微计，探规，测微头，笔测头，线性测微计 * 高精度光栅式测微仪

三丰激光全息测微仪0.01um分辨率LGH系列测头542-926/925/927/928

支持自动化仪表及* 用量具的配套使用

Laser Hologage (激光全息测微计)

LGH 542 系列 — 0.00001mm 分辨率型

产品简介：

三丰的LaserHologage激光全息测微计0.00001mm是一种* 数显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高精度和高重复精度测量，它具有* 细衍射光栅，将全息影像记录在刻度尺上。LaserHologage适于测量精度极高的工件，特别适于半导体等行业使用。

特点:
1.三丰公司的激光全息测微仪是一种* 数显测量系统，采用激光衍射测长原理，进行高精度和高重复精度测量。
2.紧凑型测头降低了每个装置组装激光光栅尺所需的成本。测头也有助于缩小整个系统的尺寸。本测微仪是测量仪器或控制装置长度测量传感器，也是高精密部件测量的zui好选择。
3.由于具有 0.00001mm ( 0.01μm ) 的极高分辨力适于进行高精度测量，其性能接近激光干涉仪。
4.具有极高的测量稳定性——高防护性设计，适于在恶劣的环境下工作，如温度和气压变化的环境。
5.低测力型也可用。低测力型可用于易变形的精密工件。
6.高可靠性和优良耐用性测杆导轨使用高精度线性滚珠轴承以获得非常平滑的运动效果和* 长耐用性。
7.分辨力为 0.01μm 的 LGH 与 EH-102S 计数器一起使用

技术参数
精度: 参见性能参数 ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.01μm
长度基准: 激光全息测量传感器
反应速度: 250mm/s
测针: R5mm 硬质合金
轴套: ø15mm
轴承类型: 高精度线性滚珠轴承
测力: 参见性能参数
输出信号:90度相位差,差动方形波
信号间距:0.25μm

标准附件
538610:带扳手的测头

选件
•激光全息测微仪台架: No.971750
•用于上表面固定的装夹套筒固定装置: No.971751
•用于下表面固定的装夹套筒固定装置: No.971752
•测杆提升线缆: No.971753
•塑料橡胶套管: No.238772 (备用)

性能参数:

货号		542-925*	542-927*	542-926*	542-928*
配置		单轴测微仪和显示装置套装	双轴测微仪和显示装置套装	单轴测微仪和显示装置套装	双轴测微仪和显示装置套装
测量范围		10mm
测量精度 ( 20ºC )		0.1µm*1
重复性		0.02µm
回程误差		0.05µm
测力	测杆朝上	约 0.35N 以下		约 0.1N
	测杆水平	约 0.45N 以下		—
	测杆朝下	约 0.55N 以下		—
测头		ø3mm 硬质合金 ( 固定螺丝 : M2.5 ( P=0.45 ) × 5 ) , 标准测头 ****20058
输出电缆长度		2m
显示范围		±999.99999mm
zui小读数		0.01µm
运行温度 ( 湿度 ) 范围		10 - 30ºC ( RH 30 - 70%, 无冷凝)
存储温度 ( 湿度 ) 范围		–10 - 50ºC ( RH 30 - 70%, 无冷凝 ) 拆开包装后存放的温度和湿度条件和操作时的条件相同
标准附件		测头* 用扳手 : No.538610 AC 适配器 : No.02ADN460 AC 电缆 ( 日本 ) : No.02ZAA000* AC 电缆 ( 美国 ) : No.02ZAA010* AC 电缆 ( 欧盟 ) : No.02ZAA020* AC 电缆 ( 英国 ) : No.02ZAA030* AC 电缆 ( 中国 )) : No.02ZAA040* AC 电缆 ( 韩国 ) : No.02ZAA050*
重量 ( 测微仪 + 显示装置)		1400g