LGH-0510-B-EH光栅式测微仪(0.005um分辨率) LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
产品简介
LGH-0510-B-EH光栅式测微仪(0.005um分辨率)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
产品详细信息
LGH-0510-B-EH光栅式测微仪(0.005um分辨率)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
产品特点:
1.装配了采用新的光电式反射型线性编码器的高精度测量机。紧凑型机身配合测微头,与以前的激光测长机等机器装备组合,大幅削减成本的同时,也为装置小型化做出巨大贡献。不仅可以作为高精度零部件的测量和高精度定位、控制装置的测长传感器,也适合作为测量机设备的基准规。
2. 也具有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格,可以测量易变形工件和高性能胶片等。
3. LGH 系列是与* 用计数器的组合规格。
4.装配新开发的* 高精度透射型线性编码器,实现0.005μm(5nm) 的高分辨力
5.在测量范围10mm 的宽范围内实现了指示精度0.1μm。适用于标准规的校正· 赋值,以及用于测量机的基准器
技术参数:
型式 |
LGH-0510-B-EH ( 标准型) |
LGH-0510C-B-EH ( 低测力型 ) *2 |
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货号 |
542-720 |
542-721 |
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测量范围 |
10mm |
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分辨力 |
0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用计数器可切换) |
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指示精度(20°C) |
0.1m |
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重复精度(2σ)0.02 |
0.02um |
0.02um |
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量化误差 |
0.05um |
0.05um |
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测杆朝下 |
约0.65N以下 |
约0.1N以下 |
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测力 |
水平 |
约0.55N以下 |
使用不可 |
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测杆朝上 |
约0.45N以下 |
使用不可 |
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位置检出方式 |
* 高精度透射型线性编码器 |
* 高精度透射型线性编码器 |
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存储温度(湿度)范围 |
-10°C~60°C/20~80%(无冷凝) | -10°C~60°C/20~80%(无冷凝) | ||
响应速度 |
250mm/s |
250mm/s |
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重量 |
约370g |
约370g |
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尘 / 水防护等* *1 |
达到IP54防护等* |
— |
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测头 |
硬质合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)标准测头****20058 |
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装夹套筒 |
直径15mm |
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轴承类型 |
高精度线性滚珠轴承 |
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输出电缆长度 |
约2m |
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接口 |
RS-232C USB (SENSORPAK* 用)Digimatic输出(打印机:**DP-1VALOGGER)I/O电缆 |
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运行温度(湿度)范围 |
15~25C(基准温度度20°C)/30~60%RH(无冷凝) |
* 用计数器规格:
量化误差±1
分辨力 ±99.999995mm
功能 调零,预调、方向转换、公差判定(3段/5段)、RS-RINK
接口 RS-232C/ 数显 /USB ( 仅 SENSORPAK )
电源 附带 AC 适配器 , DC + 12 ~ 24V, MAX700mA
功耗8.4W ( MAX 700mA )
每个装置的可靠供电应在 1A 以上
外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )
重量 约 900g ( 不包括 AC 适配器 )
标准配件
扳手 ( 用于更换测头 ) ,橡胶脚垫,支架,垫圈 ( 用于计数器 ) , AC 适配器,
交流电源线, DC 插头,用户手册,检验证书