CG1100-RTP氧气分析仪 CG1100-RTP氧气分析仪
产品简介
CG1100-RTP氧气分析仪 CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理(RTP)晶片制作系统所开发,满足了在RTP工具上使用的特殊需要,处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们*新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物,提高了过程产量。
产品详细信息
CG1100-RTP氧气分析仪
CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理(RTP)晶片制作系统所开发,满足了在RTP工具上使用的特殊需要,处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们*新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物,提高了过程产量。
CG1100-RTP氧气分析仪阿美特克公司为半导体工业提供的扩展系列产品。CG1100-RTP氧气分析仪特别为工业上的快速热处理(RTP)晶片制作系统所开发,满足了在RTP工具上使用的特殊需要,处于领导地位的半导体工具制造商已经将其集成进他们*新的RTP和Mini-Batch系统。CG1100-RTP氧气分析仪在百万分之一的浓度检定氧气污染物,提高了过程产量。
概述
CG1100-RTP氧气分析仪检测PPM浓度的氧气污染物,提高了过程产量。保护过程不受氧气污染物影响,一旦发现氧气背景在可接受的水平上,停止吹扫,可实现*大生产量。 主要特色
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