FPD检查显微镜 MM60

MM60是*新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子检查以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常**的半导体及微电子工业与科研用显微镜. 其微分干涉效果可与进口品牌相媲美.

1,显微镜观察方法：各个倍数下均可以进行明场，简易偏光观察,微分干涉观

察,各倍率成象清晰度好. 可作透射与反射照明观察;

2,机械结构：正置式 三目镜筒 倾角30¡ 带Ｃ型数码接口

3,光学系统: 无限远光学系统              

4,物镜种类: 无限远光学,长工作距离平场消色差,确保目镜视场为22mm 时

各个镜头视野平坦.

5,物镜数量和参数:

1) LWDPLAN 5X: 数值孔径(N.A) 0.14, 工作距离:20.5mm

2) LWDPLAN 10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:16mm

3) LWDPLAN 20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 工作距离:7.8mm

4) LWDPLAN 50X: 数值孔径(N.A) 0.55, 工作距离:7.9mm

5) LWDPLAN 100X: 数值孔径(N.A) 0.80, 工作距离:3mm